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发明名称 AUS EINEM SUBSTRAT UND EINER MASKE GEBILDETE STRUKTUR UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE2615754(A1) 申请公布日期 1976.10.28
申请号 DE19762615754 申请日期 1976.04.10
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 EMESE MAGDO,INGRID;MAGDO,STEVEN
分类号 H01L21/76;H01L21/033;H01L21/223;H01L21/314;H01L21/32;H01L21/762;(IPC1-7):H01L23/30 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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