| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen Reaktor zur Verwendung bei der Herstellung von polykristallinem Silizium nach dem CVD -Verfahren mit einem mehrteiligen Reaktorgehäuse mit mindestens einem oberen Gehäuseteil mit einem unteren kreisrunden Verbindungsabschnitt sowie einem unteren Gehäuseteil mit einem oberen kreisrunden Verbindungsabschnitt, wobei der obere Gehäuseteil und der untere Gehäuseteil über ein Verschlussmittel dicht miteinander verbunden werden können. Um Nachteile bei der herkömmlichen Verbindung von oberem und unterem Gehäuseteil solcher Reaktoren zu vermeiden, wird als Verschlussmittel ein bajonettartiger Verschluss vorgeschlagen.</p> |
