一种硅片传输轨道的吹扫装置

摘要

本实用新型涉及一种硅片传输轨道的吹扫装置，所述吹扫装置包括吹气管道和支架，所述支架包括用于将整个吹扫装置安装于具有硅片传输轨道的设备上的安装件和与所述安装件相连且用于支撑所述吹气管道的支撑件，所述吹气管道一端为气体输入端，另一端为用于对硅片传输轨道吹扫的吹气端，且所述吹气端设置于所述支撑件上。该吹扫装置安装于设备上并与气源连接后可使吹气管道对硅片传输轨道在设备运行的过程中持续吹扫，从而及时清理掉硅片传输轨道上的硅片碎渣，避免正常的硅片放置于传输轨道上时受到损坏。

主权项

一种硅片传输轨道的吹扫装置，其特征在于，所述吹扫装置包括吹气管道（1）和支架，所述支架包括用于将整个吹扫装置安装于具有硅片传输轨道的设备上的安装件（3）和与所述安装件（3）相连且用于支撑所述吹气管道（1）的支撑件（2），所述吹气管道（1）一端为气体输入端，另一端为用于对硅片传输轨道吹扫的吹气端，且所述吹气端设置于所述支撑件（2）上。