| 发明名称 | 配置有电镀液回收使用装置的电镀设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种配置有电镀液回收使用装置的电镀设备，包括：电镀液池、电镀液收集池、进液选择开关、电镀液分析单元、控制单元以及过滤装置；其中，进液选择开关通过输液管路连接至电镀液池；电镀液池通过排废管路连接至电镀液分析单元；其中，过滤装置布置在电镀液分析单元和电镀液池之间；电镀液分析单元通过废液收集管路连接至电镀液收集池；控制单元分别连接至进液选择开关、电镀液分析单元、以及电镀液收集池。从电镀液池排除的电镀液经由排废管路排除并被过滤装置过滤，此后，电镀液分析单元对过滤装置过滤后的电镀液进行分析，当判断过滤后的电镀液可用，则将过滤后的电镀液通过废液收集管路注入电镀液收集池。 | ||
| 申请公布号 | CN102899707A | 申请公布日期 | 2013.01.30 |
| 申请号 | CN201210451858.0 | 申请日期 | 2012.11.12 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 任存生;张旭昇;张传民;文静;苏亚青;金见安 |
| 分类号 | C25D19/00(2006.01)I;C25D21/16(2006.01)I | 主分类号 | C25D19/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 陆花 |
| 主权项 | 一种配置有电镀液回收使用装置的电镀设备，其特征在于包括：电镀液池、电镀液收集池、进液选择开关、电镀液分析单元、控制单元以及过滤装置；其中，进液选择开关通过输液管路连接至电镀液池；电镀液池通过排废管路连接至电镀液分析单元；其中，过滤装置布置在电镀液分析单元和电镀液池之间；电镀液分析单元通过废液收集管路连接至电镀液收集池；控制单元分别连接至进液选择开关、电镀液分析单元、以及电镀液收集池。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号 | ||