发明名称 一种纳米氧化锌自动制备系统
摘要 本实用新型公开了一种纳米氧化锌自动制备系统,包括超声喷雾装置、衬底、高压釜和马弗炉,其特征是:所述超声喷雾装置、衬底、高压釜和马弗炉都连接控制器,所述控制器连接机械手。本实用新型减少晶种层制备的时间,能耗少,对衬底质量要求低,且能生长出结晶质量好的纳米氧化锌结构,易于实现大规模生产。
申请公布号 CN202688004U 申请公布日期 2013.01.23
申请号 CN201220346476.7 申请日期 2012.07.18
申请人 济南大学 发明人 张仲;刘如喜;黄金昭;李世帅;李泓霖
分类号 C01G9/02(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I 主分类号 C01G9/02(2006.01)I
代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 冯铁惠
主权项 一种纳米氧化锌自动制备系统,包括超声喷雾装置、衬底、高压釜和马弗炉,其特征是:所述超声喷雾装置、衬底、高压釜和马弗炉都连接控制器,所述控制器连接机械手。
地址 250022 山东省济南市济微路106号
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