Zweischichtige Systeme, welche eine untere Schicht auf Polydimethylglutarimid-Basis umfassen, und Zusammensetzungen daraus

摘要

Zweischichtige Systeme umfassen eine untere Schicht, welche aus Polydimethylglutarimid, einem säureempfindlichen Auflösungshemmer und einem Photosäurebildner gebildet ist. Das zweischichtige System kann in einem Verfahren mit einer einzigen Belichtung und einer einzigen Entwicklung belichtet und entwickelt werden.