发明名称 游标狭缝式光电自准直仪
摘要 本发明了提供一种精度高、可靠性好的游标狭缝式光电自准直仪。该游标狭缝式光电自准直仪,包括在主光路上依次设置的单色光源(1)、多狭缝(2)、分光镜(3)、准直物镜(4)、可转动的平面反射镜(5)以及在分光镜分光光路上设置的线阵CCD(6),多狭缝(2)与线阵CCD(6)共轭;所述多狭缝(2)由多个平行单狭缝组成,各平行单狭缝缝宽与缝间距均相等;以线阵CCD作为主尺,多狭缝(2)的像作为游标尺,游标尺与主尺满足游标细分原理。本发明可广泛应用于高精度小角度精度测试,反射镜动静态小角度误差高精度测量、角位移传感器角度标校、光学平面冷加工件的小角度测量等。
申请公布号 CN102865835A 申请公布日期 2013.01.09
申请号 CN201210380004.8 申请日期 2012.09.29
申请人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明人 刘爱敏;高立民;吴易明
分类号 G01B11/26(2006.01)I;G01B11/30(2006.01)I 主分类号 G01B11/26(2006.01)I
代理机构 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人 陈广民
主权项 游标狭缝式光电自准直仪,包括在主光路上依次设置的单色光源(1)、多狭缝(2)、分光镜(3)、准直物镜(4)、可转动的平面反射镜(5)以及在分光镜分光光路上设置的线阵CCD(6),多狭缝(2)与线阵CCD(6)共轭,光源(1)发出的光通过多狭缝(2)、经分光镜透射后在平面反射镜(5)反射回分光镜分光,成像于线阵CCD(6)处;其特征在于:所述多狭缝(2)由多个平行单狭缝组成,各平行单狭缝缝宽与缝间距均相等;以线阵CCD作为主尺,多狭缝(2)的像作为游标尺,游标尺与主尺满足游标细分原理。
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