用于硅片制绒前的预处理装置

摘要

本实用新型涉及一种用于硅片制绒前的预处理装置，其包括化学处理槽和化学品供应罐，所述化学处理槽和所述化学品供应罐通过管道连接，所述化学处理槽包括内槽和外槽，所述化学处理槽底部设置有加热器，所述化学处理槽侧面底部围绕有导管，所述导管与冷却水供应罐连接。通过在常规制绒装置之前增加预处理装置，对于杂质含量高，表面状况复杂的冶金级硅片，获得的绒面效果均匀，清晰。同时，通过在化学处理内槽上连接一外槽，使得化学处理内槽中的腐蚀液溢出到外槽，避免了由此造成的污染，通过循环管路使外槽中的溢出液体回到内槽中，由此提高了腐蚀液的利用率，减小了腐蚀液的浪费。

主权项

用于硅片制绒前的预处理装置，其包括化学处理槽和化学品供应罐，所述化学处理槽和所述化学品供应罐通过管道连接，其特征在于，所述化学处理槽包括内槽和外槽。