DEVICE AND METHOD FOR COATING A SUBSTRATE

摘要

Die Erfindung betrifft eine PVD- oder CVD-Vorrichtung (1) zum Beschichten eines Substrats (2), insbesondere eines Metalls, eines Kunststoffs und/oder eines Textils, mit einer Beschichtungsquelle (4) zum Aussenden von Beschichtungsmaterial (5) in Richtung des Substrats (2), einem Substratträger (3), auf dem das dafür vorgesehene Substrat (2) statisch oder dynamisch anbringbar ist. Erfindungsgemäß ist zur Erzeugung einer zumindest teilweise ungleichmäßigen Oberflächenerscheinung des beschichteten Substrats eine Manipulationseinrichtung vorgesehen, um das Beschichtungsmaterial ungleichmäßig auf das Substrat aufzubringen und/oder dass das Substrat eine inhomogene Substratoberfläche aufweist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein entsprechendes Beschichtungsverfahren und Substrat.