确定晶圆中蛇形金属线的最小可测长度的方法

摘要

本发明中公开了一种确定晶圆中蛇形金属线的最小可测长度的方法，该方法包括：在晶圆上预先设置包括多个结构相同的测试模块的测试装置；所述测试模块包括多种长度的蛇形金属线，用于提供多种待测阻值；根据预先确定的测量组数以及每组测量时所对应的待测阻值，对测试装置中的每个测试模块进行测量，得到多组测量结果；根据所获得的多组测量结果以及预先设置的阈值确定可稳定测量的阻值范围；根据所确定的可稳定测量的阻值范围，确定晶圆中蛇形金属线的最小可测长度。通过使用上述的方法，可确定晶圆中的蛇形金属线在不降低测量精度时的最小可测长度，从而可有效地减少晶圆上用于设置检测电路的区域的面积，降低生产成本。

主权项

一种确定晶圆中蛇形金属线的最小可测长度的方法，该方法包括：在晶圆上预先设置包括多个结构相同的测试模块的测试装置；所述测试模块中包括多种长度的蛇形金属线，用于提供多种待测阻值；根据预先确定的测量组数以及每组测量时所对应的待测阻值，对测试装置中的每个测试模块进行测量，得到多组测量结果；根据所获得的多组测量结果以及预先设置的阈值确定可稳定测量的阻值范围；根据所确定的可稳定测量的阻值范围，确定晶圆中蛇形金属线的最小可测长度；其中，所述根据所获得的多组测量结果以及预先设置的阈值确定可稳定测量的阻值范围包括：根据预先设置的阈值、每组测量结果中的各个测量值以及平均测量值，确定每组测量结果所对应的待测阻值是否为可稳定测量的阻值；根据各个可稳定测量的阻值确定可稳定测量的阻值范围。