| 摘要 |
<p>본 발명에서는, 내부에 열매체가 진공 주입되는 채널이 형성되는 열 가압 히트 스프레더와 상기 열 가압 히트 스프레더의 판면에 인쇄회로층이 일체로 형성되는 열 가압 히트 스프레더 기반의 메탈기판의 제조방법에 관한 것으로서, 판상의 금속재 상판과 하판을 준비하고 상기 하판의 판면을 오목하게 가공하여 열매체를 수용하기 위한 채널과 상기 채널에 연결되는 주입니들 수용 함몰부를 형성하되, 상기 하판에 형성되는 채널은 하판의 중앙에 오목하게 형성되는 중앙홈과 상기 중앙홈에 연결되는 것으로서 중앙홈을 중심으로 방사형으로 다수 개가 배치되는 방사홈으로 구성되도록 하판의 판면을 에칭하여 형성하고, 상기 주입니들 수용 함몰부는 하판의 판면을 오목하게 가압하여 형성하는 단계; 내부에 주입유로가 형성되는 관체 형상의 주입니들을 상기 하판의 주입니들 수용 함몰부에 위치시킨 후 상판과 하판을 열 가압하여 결합함으로써 열 가압 히트 스프레더를 형성하는 단계; 상기 열 가압 히트 스프레더의 판면을 세정하고 건조하는 단계; 세정 및 건조된 열 가압 히트 스프레더의 판면에 절연층을 형성하는 단계; 상기 절연층 상에 동박층을 형성하는 단계; 상기 동박층에 감광재층을 형성한 후 노광, 현상 및 에칭 공정을 거쳐 인쇄회로패턴을 형성하는 단계; 상기 인쇄회로패턴을 보호하기 위하여 인쇄회로패턴 상에 솔더 레지스트 잉크를 사용하여 솔더마스크층을 형성하는 단계; 열 가압 히트 스프레더의 내부와 연결되는 주입니들을 통하여 열매체를 진공주입하는 단계; 및 상기 주입니들을 열 가압하여 내부의 주입유로를 봉합하여 폐쇄하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 열 가압 히트 스프레더 기반의 메탈기판 제조방법이 제공된다.</p> |
