发明名称 |
化学气相沉积炉 |
摘要 |
本发明的目的在于提供一种气相沉积炉,该气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口以及模具,进气口在炉体底部或顶部,其特征在于:在炉体内或炉体外设有旋转机构,所述旋转机构由1~36个齿轮、转盘、齿套、伞齿轮组、连接轴以及电机组成,电机通过伞齿轮组与转盘相连,齿轮通过连接轴固定在转盘上,齿套在所有齿轮外围固定,并与齿轮啮合,转盘转动带动齿轮沿着圆盘式齿套旋转,每个齿轮上都吊挂或直立一个模具,模具随着齿轮的自转公转实现了产品在炉内的公转与自转。采用该气相沉积炉制备热解氮化硼制品,能够提高PBN产品质量及其生产效率,降低生产成本。 |
申请公布号 |
CN102839361A |
申请公布日期 |
2012.12.26 |
申请号 |
CN201110324989.8 |
申请日期 |
2011.10.24 |
申请人 |
南通天华和睿科技创业有限公司 |
发明人 |
季历程 |
分类号 |
C23C16/455(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)N |
主分类号 |
C23C16/455(2006.01)I |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
化学气相沉积炉,其由下述几部分构成:炉体(1)、进气口(2)、出气口(3)、模具(4)、旋转机构(5)以及发热体(6);其中:发热体(6)、进气口(2)、出气口(3)都布置在炉体(1)上,进气口(2)设置在炉体(1)的上部,旋转机构(5)由转盘(5.1)、齿轮(5.2)、连接轴(5.3)、伞齿轮组(5.4)、齿套(5.5)以及电机(5.6)组成,发热体(6)由感应线圈(6.1)、加热体(6.2)以及石墨套筒(6.3)组成;电机(5.6)通过伞齿轮组(5.4)与转盘(5.1)相连,齿轮(5.2)共有5个且皆通过连接轴(5.3)固定在转盘(5.1)上,且每个齿轮(5.2)上都设置有一个模具4;其特征在于:所述旋转机构(5)设置在炉体(1)内的上端;进气口为三同心圆进气口。 |
地址 |
226009 江苏省南通市经济开发区中央路52号创业中心515室 |