用于等离子体腔室的具有非气态的电介质的导波辐射器

摘要

本实用新型涉及一种导波辐射器，所述导波辐射器包括两个导电的波导壁以及波导电介质。波导电介质的容积是由非气态的电介质材料构成并且位于两波导壁之间。波导电介质包括第一和第二长度端，并且波导电介质包括在两长度端之间沿长度方向延伸的第一、第二、第三和第四侧。第一波导壁定位为覆盖波导电介质的第一侧，并且第二波导壁定位为覆盖波导电介质的第二侧。操作时，向长度端之一或两者提供的电功率可以通过波导电介质的暴露侧耦合到等离子体。

主权项

具有非气态的电介质的导波辐射器，其特征在于包括：第一和第二波导壁，其中各波导壁都是导电的；以及波导电介质，所述波导电介质的容积由非气态的电介质材料构成，其中所述波导电介质包括：（i）第一和第二长度端，和（ii）在所述两长度端之间沿长度方向延伸的第一、第二、第三和第四侧；其中：所述波导电介质位于所述两波导壁之间；所述第一波导壁定位为覆盖所述波导电介质的所述第一侧；所述第二波导壁定位为覆盖所述波导电介质的所述第二侧；以及所述波导电介质的所述第三和所述第四侧的每一个的一部分未被所述波导壁覆盖。