| 发明名称 | 硅片清洗槽液位控制及补液装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种硅片清洗槽液位控制及补液装置，包括：槽体（1）、伸入槽体内的补液导管（2）、用于检测补入液体的第一检测仪（3）、用于检测槽体最低液位的第二检测仪（4），和补液装置（5），所述的补液装置包括补液桶（51）和与补液导管（2）连接的导管（52），其中，所述的补液桶和导管之间设有多个并联的控制阀（53、54）。本发明能精准的检测到槽内的药液体积，能缩小实际补入量与理论值的误差，提高补液精度。 | ||
| 申请公布号 | CN102784788A | 申请公布日期 | 2012.11.21 |
| 申请号 | CN201210309646.9 | 申请日期 | 2012.08.28 |
| 申请人 | 常州捷佳创精密机械有限公司 | 发明人 | 左国军 |
| 分类号 | B08B13/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | B08B13/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人 | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 主权项 | 一种硅片清洗槽液位控制及补液装置，包括：槽体（1）、伸入槽体内的补液导管（2）、用于检测补入液体的第一检测仪（3）、用于检测槽体最低液位的第二检测仪（4），和补液装置（5），所述的补液装置包括补液桶（51）和与补液导管（2）连接的导管（52），其特征在于，所述的补液桶和导管之间设有多个并联的控制阀（53、54）。 | ||
| 地址 | 213125 江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号 | ||