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Verfahren zur Herstellung einer dreidimensionalen mikromechanischen Struktur, mit folgenden Schritten: Ausbilden (100) einer auslenkbar gelagerten zweidimensionalen Struktur (12) in einer Substratebene eines Substrats (14); und Anordnen (102) der auslenkbar gelagerten zweidimensionalen Struktur (12) in einem Gehäuse (22) derart, dass ein Mikromanipulator (24) zwischen dem Gehäuse (22) und der zweidimensionalen Struktur (12) angeordnet wird, der eine Auslenkung der zweidimensionalen Struktur (12) aus der Substratebene bewirkt, wobei der Mikromanipulator (24) eine mechanische Struktur ist, die entweder mit dem Gehäuse (22) oder mit der zweidimensionalen Struktur (12) fest verbunden ist, und Fixieren der zweidimensionalen Struktur (12) in dem ausgelenkten Zustand durch eine stoffschlüssige oder eine formschlüssige Verbindung.
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