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发明名称 METHOD FOR MAKING HOLES USING A FLUID JET
摘要
申请公布号 EP2521638(A1) 申请公布日期 2012.11.14
申请号 EP20100809156 申请日期 2010.12.22
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 BENWADIH, MOHAMED;HEITZMANN, MARIE
分类号 B26F1/26;H01L21/768 主分类号 B26F1/26
代理机构 代理人
主权项
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