真空阀用波纹管

摘要

本发明提供一种真空阀用波纹管，在金属筒的周壁上沿该金属筒的轴线方向交替地连续形成向该金属筒的内侧鼓出的环状的谷部、和向该金属筒的外侧鼓出的环状的峰部，从而构成波纹管，该波纹管为了划分主流路和驱动部而以围绕杆的周围的方式配设，阀构件通过抵接或离开阀座而开闭所述主流路，所述驱动部借助所述杆驱动所述阀构件，在将所述谷部的截面的曲率半径设为谷R，将所述峰部的截面的曲率半径设为峰R时，作为该谷R与峰R的比的谷R/峰R在1.15～1.70的范围内。

主权项

一种真空阀用波纹管，该真空阀用波纹管为了划分主流路和驱动部而以围绕杆的周围的方式配设于真空阀中，该真空阀具备：所述主流路，盘形的阀构件通过抵接或离开阀座而开闭该主流路；所述驱动部，其借助所述杆驱动所述阀构件，该真空阀用波纹管的特征在于，在金属筒的周壁上沿该金属筒的轴线方向交替地连续形成向该金属筒的内侧鼓出的环状的谷部和向该金属筒的外侧鼓出的环状的峰部，从而构成所述波纹管，在来自所述杆的外力未作用于该波纹管的状态下，在将所述谷部的截面的曲率半径设为谷R，将所述峰部的截面的曲率半径设为峰R时，作为该谷R与峰R的比的谷R/峰R处于1.15～1.70的范围内。