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透镜中心误差干涉测量系统，其特征在于包括：激光器(1)、准直镜(2)、起偏器(3)、第一分光镜(4)、第一λ/4波片(5)、参考反射镜(6)、第二分光镜(7)、上遮光片(8)、上可调反射镜(9)、下可调反射镜(10)、固定反射镜(11)、下遮光片(12)、第二λ/4波片(13)、检偏器(14)、成像镜头(15)、CCD相机(16)、计算机(17)及精密回转工作台(18)；激光器(1)发出的激光束经准直镜(2)扩束后，经起偏器(3)变成线偏振光，该偏振光束经第一分光镜(4)将入射光束分为参考光束与测量光束，所述参考光束经第一λ/4波片(5)，入射到参考反射镜(6)上，并被参考反射镜(6)反射，参考光束两次通过第一λ/4波片(5)后偏振 方向改变90°；所述测量光束经第二λ/4波片(13)和第二分光镜(7)分为上下两束测量光束，分别用于被测透镜(19)上下表面中心误差的测量；当打开上遮光片(8)而关闭下遮光片(12)时，上测量光束经上可调反射镜(9)垂直入射到被测透镜(19)的上表面并沿原路返回，上测量光束两次通过第二λ/4波片(13)后偏振方向改变90°，并与参考光束汇合并发生干涉；当关闭上遮光片(8)而打开下遮光片(12)时，下测量光束经固定反射镜(11)和下可调反射镜(10)垂直入射到被测透镜(19)的下表面并沿原路返回，下测量光束两次通过第二λ/4波片(13)后偏振方向改变90°，并与参考光束汇合并发生干涉；前述干涉光束经检偏器(14)后得到相应的干涉条纹，经过成像镜头(15)成像后，干涉条纹被CCD相机(16)接收，然后转动精密回转工作台(18)，通过观察计算机(17)显示和记录的干涉条纹的变化，计算得出透镜前后表面中心误差的测量结果；其中上遮光片(8)和下遮光片(12)用于测量光束的选择。 |
