| 发明名称 | 透明导电膜的成膜方法和成膜装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种透明导电膜的成膜方法，使用含有氧化锌类材料的靶，通过溅射在基板上形成氧化锌类透明导电膜，在含有选自氢气、氧气和水蒸气中的两种或三种的反应性气体气氛中进行上述溅射。 | ||
| 申请公布号 | CN101910449B | 申请公布日期 | 2012.10.31 |
| 申请号 | CN200880122587.6 | 申请日期 | 2008.12.17 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 高桥明久;石桥晓 |
| 分类号 | C23C14/08(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 陈万青;王珍仙 |
| 主权项 | 一种透明导电膜的成膜方法，使用含有氧化锌类材料的靶，通过溅射在基板上形成氧化锌类透明导电膜，在含有氢气、氧气和水蒸气的反应性气体气氛中进行所述溅射，进行所述溅射时，在所述气氛中至少含有所述氢气和所述氧气的情况下，所述氢气的分压PH2与所述氧气的分压PO2之比R＝PH2/PO2满足下式(1)：R＝PH2/PO2≥5(1)。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||