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Eine Messvorrichtung enthält eine Messeinheit und eine Berechnungseinheit, wobei die Messeinheit mehrere Messbereiche in einem Teil der Testoberfläche einrichtet und die Form der Testoberfläche in der Weise misst, dass jeder der mehreren Messbereiche eine Überlappungszone mit mindestens einem weiteren Messbereich bildet, und wobei die Berechnungseinheit ein Messdatenelement für jeden der von der Messeinheit erhaltenen Messbereiche liest, einen Messfehler jeder Messung ausdrückt in Form eines Polynoms, welches einen Term mit einem Koeffizienten, dessen Wert von der Einstellung des Messbereichs abhängt, und einem Term mit einem Koeffizienten enthält, dessen Wert nicht von der Einstellung des Messbereichs abhängt, eine Matrixgleichung bezüglich der Koeffizienten des Polynoms durch Anwenden der Methode der kleinsten Quadrate auf jedes der Messdatenelemente für die Überlappungszone ermittelt, Daten bezüglich der Terme des Polynoms und jedes der Messdatenelemente für die Überlappungszone der Matrixgleichung zuordnet, die Koeffizienten des Polynoms aus einer Singulärwertzerlegung der Matrixgleichung, der die Daten zugeordnet wurden, berechnet, und jedes der Messdatenelemente für die Messbereiche unter Verwendung der berechneten Koeffizienten korrigiert, und die Form der Testoberfläche in den mehreren Testbereichen unter Verwendung der korrigierten Messdatenelemente berechnet.
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