表面处理装置及方法

摘要

一种用于表面处理装置的托承装置，该托承装置可以包含具有板附着面的托承盘和具有第一板面及第二板面的托承板。该托承装置还可以包含多孔界面层。该界面层可以包含外表面。该托承装置也可以包含第一胶粘剂层和第二胶粘剂层，该第一胶粘剂层在该外表面上并延伸进入该界面层，该第二胶粘剂层配备在该第一胶粘剂层上。该第二胶粘剂可选择为可松开地胶着地粘至研磨片。该第一和第二胶粘剂可选择为使该第一胶粘剂和第二胶粘剂之间的该胶着粘合比该第二胶粘剂和该研磨片之间的该胶着粘合更为牢固。

主权项

一种用于表面处理装置的托承装置，所述托承装置包括：a)托承盘，所述托承盘具有板附着面；b)托承板，所述托承板具有被固定至所述板附着面的第一板面，及与所述第一板面相反的第二板面；c)多孔界面层，所述界面层包括固定至所述第二板面的内表面，及外表面；d)第一胶粘剂的层，所述第一胶粘剂的层被配备在所述外表面上并延伸进入所述界面层；及e)第二胶粘剂的层，所述第二胶粘剂的层被配备在所述第一胶粘剂的层上，其中选用的所述第二胶粘剂以可松开地胶着的方式粘合研磨片，且其中，选用的所述第一和第二胶粘剂使所述第一胶粘剂和所述第二胶粘剂之间的胶着粘合比所述第二胶粘剂和所述研磨片之间的胶着粘合更为牢固，由此，在所述研磨片与所述托承装置分开的时候，所述第二胶粘剂层还是保持粘合至所述第一胶粘剂层。