带探测器的机械手

摘要

本发明为一种带探测器的机械手，涉及一种机械手，尤其是适用于LED外延片检测行业中一种带探测器的机械手。本发明主要包括水平运动机构（12）、垂直运动机构（13）、旋转运动机构（14）、机械爪(11)、探测元件(15)、机架(16)。本发明的优点：结构简单、成本低、控制方便、三个轴可以同时运动，大大节省了时间，所述的机械爪一端开有吸气孔配合气路辅助系统能更有效的抓紧外延片，机械爪的另一端装有探测元件，工作前探测料仓有无外延片及外延片的位置，减少做无用功的时间以及防止损坏外延片。

主权项

一种带探测器的机械手，其特征在于：主要包括水平运动机构（12）、垂直运动机构（13）、旋转运动机构（14）、机械爪(11)、探测元件(15)、机架(16)，其中，垂直运动机构(13)固定于机架(16)上，且相对于地面的高度方向上能够伸缩，旋转运动机构(14)联接在垂直运动机构(13)上，且相对于地面的水平方向上能够旋转；水平运动机构(12)联接在旋转运动机构（14）上，且相对于地面的水平方向上能够伸缩，机械爪（11）联接在水平运动机构（12）上，机械爪（11）包括机械爪主板（111），压板（112）以及吸盘（113），机械爪主板（111）的一端开有U型槽与长度方向垂直的薄壁部分固定探测元件（15），中部开有安装孔，另一端开有连接孔与所述吸盘（113）的连接孔相通，机械爪主板（111）的连接孔延伸到侧面接气动元件，通过所述压板（112）把吸盘（113）固定在机械爪主板（111）上。