发明名称 |
具有增强寿命的部件 |
摘要 |
已经研发了显著降低部件的吸湿性的处理,得到对湿气和吸附/吸收对部件功能的影响更不敏感的部件。在一个实施例中,具有降低的对湿气暴露的敏感性的部件包括设置在气密性封装中的部件,该部件具有设置在部件的表面上的孔中的阻断气体。在另一实施例中,用于制备具有降低的对湿气暴露的敏感性的部件的方法包括在受控制的环境中从部件驱除水分,将处于受控制的环境中的部件暴露于阻断气体,从受控制的环境移除部件,并且可选地,将部件密封在气密性封装中。 |
申请公布号 |
CN102666286A |
申请公布日期 |
2012.09.12 |
申请号 |
CN201080049099.4 |
申请日期 |
2010.11.12 |
申请人 |
应用材料公司 |
发明人 |
卡泽拉·R·纳伦德瑞纳斯;阿施施·布特那格尔 |
分类号 |
B65B31/04(2006.01)I;B65B55/24(2006.01)I;B65B55/20(2006.01)I |
主分类号 |
B65B31/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 |
代理人 |
柳春雷 |
主权项 |
一种具有降低的对湿气暴露的敏感性的室部件,所述室部件包括:部件,其具有设置在所述部件的表面上的孔中的阻断气体;以及密封的气密性封装,其中间设置有所述部件。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |