一种用于投影光刻中球面或曲面的偏心及焦面位置的检测装置

摘要

一种用于投影光刻中球面或曲面的偏心及焦面位置的检测系统由照明系统、检焦标记投影系统、检焦标记检测放大系统及CCD检测系统组成。在本发明中，通过引入多次反射棱镜，将信号光分为多束，通过检测被检球面反射光信号来同时获得球面的偏心量和离焦量，实现球面曝光表面的焦面检测。

主权项

一种用于投影光刻中球面或曲面的偏心及焦面位置的检测装置，其特征在于包括：照明系统(1)、检焦标记(2)、检焦标记投影成像系统(3)、多次反射棱镜(4)、被检测面(5)、反射镜(6)、检测标记放大系统(7)、光电探测器(8)；照明系统(1)将光源发出的光整形后照亮检焦标记(2)，检焦标记(2)经成像系统(3)后入射到多次反射棱镜(4)上，多次反射棱镜(4)的上表面具有分光特性，多次反射棱镜(4)的下表面具有反射特性，入射光入射到多次反射棱镜(4)上时，部分光将通过多次反射棱镜(4)上表面反射，部分光将透过多次反射棱镜(4)上表面并由多次反射棱镜(4)下表面反射再经上表面出射，设计多次反射棱镜(4)上下表面的透过率和反射率，则可以使入射光分为两束或两束以上的光，这些光线均由同一光源和同一检测标记发出，具有严格的复制特征；入射光分为两束或两束以上后，分别入射到被检测面(5)上，当被检测面(5)有上下方向的偏移时，入射光由反射镜(6)反射并经检测标记放大系统(7)放大成像后，在光电探测器(8)上的像的位置会产生相应的偏移，通过检测像偏移的大小实现被检测面(5)的离焦量测量；当被检测面(5)是球面时，由多次反射棱镜(4)产生的具有严格复制特征的两束或两束以上的检测光经被检测面(5)反射并由检测标记放大系统(7)放大成像在光电探测器上的多个像的强度分布具有一定的特征，当被检测面(5)的球心位置发生变化时，不仅这些像的位置会发生改变而且强度分布也会产生对应的改变，由此可以检测出被检测面(5)的偏心，即球心位置偏差信息。