发明名称 长晶炉与空调回水温控系统
摘要 本发明公开了一种长晶炉与空调回水温控系统,长晶制程冷却水池用来容置供长晶炉冷却用的长晶炉冷却水,水源热泵机组包括冷源侧和热源侧,其冷源侧设有冷源进水管和冷源出水管,其热源侧设有热源进水管和热源出水管,冷源侧的冷源进水管和冷源出水管分别与长晶制程冷却水池连通,热源侧的热源进水管和热源出水管分别与空调热水箱连通,本发明通过水源热泵机组将长晶炉冷却水降温的同时利用这部分热量给空调热水箱内的热水进行加温,即通过能量互换就有效节省了长晶炉冷却水因冷却所需的能量和空调热水箱中热水因加热所需的能量,节约了电能和柴油的消耗,降低了生产成本。
申请公布号 CN102071470B 申请公布日期 2012.08.22
申请号 CN200910234480.7 申请日期 2009.11.20
申请人 昆山中辰矽晶有限公司 发明人 郑宗杰;徐新华;邹飞;李杰
分类号 C30B35/00(2006.01)I;F24H4/02(2006.01)I 主分类号 C30B35/00(2006.01)I
代理机构 昆山四方专利事务所 32212 代理人 盛建德
主权项 一种长晶炉与中央空调回水温控系统,其特征是:包括长晶制程冷却水池(1)、水源热泵机组(2)和中央空调热水箱(3),长晶制程冷却水池(1)用来容置供长晶炉冷却用的长晶炉冷却水,水源热泵机组(2)包括冷源侧(21)和热源侧(22),其冷源侧(21)设有冷源进水管(211)和冷源出水管(212),其热源侧(22)设有热源进水管(221)和热源出水管(222),冷源侧(21)的冷源进水管(211)和冷源出水管(212)分别与长晶制程冷却水池(1)连通,热源侧(22)的热源进水管(221)和热源出水管(222)分别与中央空调热水箱(3)连通,长晶制程冷却水池内的长晶炉冷却水打入水源热泵机组冷源侧的冷源进水管,水源热泵机吸收长晶炉冷却水的热量后将温度有所降低的长晶炉冷却水由冷源出水管排入长晶制程冷却水池内,中央空调热水箱的热水由水源热泵机组热源侧的热源进水管进入水源热泵机组热源侧,水源热泵机组热源侧吸收冷源侧的热量后将该热水加热,然后将温度升高的热水再由热源出水管排到中央空调热水箱内。
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