雷射退火装置

摘要

本发明之目的系在于减少因惰性气体的温度变动所造成之雷射光折射现象所引起的雷射光照射不均。本发明之雷射退火装置1系具有：气体供给装置10，至少供给惰性气体G至被处理体7的雷射照射区域；及气体温调装置15，系调整惰性气体G的温度。气体温调装置15系调整供给至雷射照射区域的惰性气体G之温度，俾使惰性气体G的温度、与位在惰性气体的供给区域外侧且包围雷射光光路的空间(房间R)之雰围温度间的温差变小。