发明名称 |
半导体元件 |
摘要 |
根据实施方式,半导体元件具备:半绝缘性基板,在表面选择性地设有第1第一导电型层;第1半导体层,设置在上述半绝缘性基板以及上述第1第一导电型层之上,包含无掺杂AlXGa1-XN(0≤X<1);以及第2半导体层,设置在上述第1半导体层上,包含无掺杂或第二导电型的AlYGa1-YN(0<Y≤1,X<Y)。该半导体元件具备:第1主电极,与上述第2半导体层连接;第2主电极,与上述第2半导体层连接;以及控制电极,设置在上述第1主电极与上述第2主电极之间的上述第2半导体层之上。上述第1第一导电型层设置在上述控制电极之下。 |
申请公布号 |
CN102623493A |
申请公布日期 |
2012.08.01 |
申请号 |
CN201110249455.3 |
申请日期 |
2011.08.26 |
申请人 |
株式会社东芝 |
发明人 |
斋藤涉 |
分类号 |
H01L29/772(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/772(2006.01)I |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 72002 |
代理人 |
徐殿军 |
主权项 |
一种半导体元件,其特征在于,具备:半绝缘性基板,在表面选择性地设有第1第一导电型层;第1半导体层,设置在上述半绝缘性基板以及上述第1第一导电型层之上,包含无掺杂AlXGa1‑XN,其中0≤X<1;第2半导体层,设置在上述第1半导体层上,包含无掺杂或第二导电型的AlYGa1‑YN,其中0<Y≤1,X<Y;第1主电极,与上述第2半导体层连接;第2主电极,与上述第2半导体层连接;以及控制电极,设置在上述第1主电极与上述第2主电极之间的上述第2半导体层之上;上述第1第一导电型层设置在上述控制电极之下。 |
地址 |
日本东京都 |