沉积物去除、光学元件保护方法、器件制造法和光刻设备

摘要

沉积物去除、光学元件保护方法、器件制造法和光刻设备本发明提供了一种去除包括光学元件的设备的光学元件上沉积物的方法，该方法包括在该设备的至少一部分内提供含有H2的气体；从含H2气体中的H2产生氢自由基；以及使具有沉积物的光学元件与至少部分氢自由基接触，并且去除沉积物的至少一部分。此外，本发明提供了一种包括光学元件的设备的光学元件的保护方法，该方法包括：通过沉积过程向光学元件提供盖层；和在设备使用期间或使用之后，在如上所述的去除过程中，从光学元件上去除盖层的至少一部分。该方法可用在光刻设备中。

主权项

一种器件制造方法，包括：提供包括照明系统(IL)和投影系统(PL)的光刻设备(1)，所述光刻设备(1)还包括光学元件(100)；利用照明系统(IL)提供辐射束(PB)；将图形化辐射束(PB)投影到衬底(W)的目标部分(C)上；通过沉积过程向光学元件(100)提供盖层(125)；以及在设备的使用期间，利用去除过程中从光学元件(100)上去除盖层(125)的至少一部分。