发明名称 | 自对准石墨烯晶体管 | ||
摘要 | 一种石墨烯场效晶体管,包括:栅极叠层,该栅极叠层包括籽层、形成于籽层上方的栅极氧化物以及形成于栅极氧化物上方的栅极金属;绝缘层;以及位于籽层与绝缘层之间的石墨烯薄片。 | ||
申请公布号 | CN102612751A | 申请公布日期 | 2012.07.25 |
申请号 | CN201080051125.7 | 申请日期 | 2010.08.31 |
申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | 林佑民;K.A.詹金斯;A.瓦尔德斯加西亚 |
分类号 | H01L29/786(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 邱军 |
主权项 | 一种石墨烯场效晶体管,包括:栅极叠层,该栅极叠层包括籽层、形成于该籽层上方的栅极氧化物、以及形成于该栅极氧化物上方的栅极金属;绝缘层;以及石墨烯薄片,位于该籽层与该绝缘层之间。 | ||
地址 | 美国纽约阿芒克 |