| 发明名称 | 真空质量测量系统 | ||
| 摘要 | 一种用于真空室的气体分析器包含处理电子器件，其经配置以接收质谱数据，接收所述真空室中的总压力的输入，接收来自至少一个传感器的外部输入，且使用所述质谱数据、所述真空室中的所述总压力以及来自所述至少一个传感器的所述外部输入来基于至少一个质量准则计算真空质量指数。 | ||
| 申请公布号 | CN102612641A | 申请公布日期 | 2012.07.25 |
| 申请号 | CN201080050648.X | 申请日期 | 2010.11.08 |
| 申请人 | 布鲁克机械公司 | 发明人 | 葛拉多·A·布鲁克尔;小肯尼斯·D·凡安特卫普 |
| 分类号 | G01L21/00(2006.01)I;G01J3/28(2006.01)I;G01N21/25(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | G01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 许静;安利霞 |
| 主权项 | 一种用于真空室的包括处理电子器件的气体分析器，其经配置以：a）接收质谱数据；b）接收所述真空室中的总压力的输入；c）接收来自至少一个传感器的外部输入；以及d）使用所述质谱数据、所述真空室中的所述总压力以及来自所述至少一个传感器的所述外部输入来基于至少一个质量准则计算真空质量指数。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||