薄膜显示元件的检查修正方法以及检查修正装置

摘要

本发明提供一种薄膜显示元件的检查修正方法以及检查修正装置，其即使是在彩色滤器方式的OLED面板的情况下，也可以以单一波长、高可靠性地进行检查、修正，能够提高成品率。对具有在发光层形成的金属电极膜和在发光层的与金属电极膜相反的一侧形成的透明电极膜的薄膜显示元件的发光装置进行检查，修正不良部位的方法及其装置被构成为：对金属电极和透明电极施加电力来使发光层发光，相对金属电极从透明电极侧观察该发光层的发光装置，检测发光层中不发光的位置，根据该检测出的发光层中不发光的位置的信息，从与透明电极相反的一侧对金属电极照射激光，去除发光层中不发光的位置的上方的金属电极膜。

主权项

一种薄膜显示元件的检查修正方法，其是通过检查薄膜显示元件的发光状态来修正不良部位的方法，该薄膜显示元件具有在发光层上形成的金属电极膜和在所述发光层的与所述金属电极膜相反的一侧形成的透明电极膜，该方法的特征在于，对所述金属电极和所述透明电极施加电力，使所述发光层发光，针对所述金属电极，从所述透明电极一侧观察该发光层的发光状态，检测所述发光层中不发光的位置，根据该检测出的所述发光层中不发光的位置的信息，从与所述透明电极相反的一侧对所述金属电极照射激光，去除所述发光层中不发光的位置的上方的所述金属电极膜。