图案形成装置的支撑

摘要

本发明涉及图案形成装置的支撑。提供多种布置以在光刻装置的图案形成装置平台的移动期间基本上消除图案形成装置的滑移。一种这样的布置包括保持系统和支撑运送装置。保持系统包括支撑装置、保持装置以及磁致伸缩致动器。保持装置可释放地将图案形成装置耦合至支撑装置。磁致伸缩致动器被可释放地耦合至图案形成装置以施加加速力至图案形成装置。支撑运送装置被耦合并与通过磁致伸缩致动器施加力同时地移动支撑装置以防止图案形成装置滑移。

主权项

一种图案形成装置运送系统，包括：保持系统，具有支撑装置，保持装置，配置成将图案形成装置可释放地耦合至支撑装置，和磁致伸缩致动器，配置成提供力至图案形成装置；和支撑运送装置，配置成与磁致伸缩致动器提供力至图案形成装置同时地移动支撑装置，以便基本上消除在支撑装置的移动期间图案形成装置的滑移。