发明名称 |
AZO镀膜线基片承载车 |
摘要 |
本实用新型公开一种AZO镀膜线基片承载车,包括工件架底座和安装于工件架底座上的基片固定框,所述工件架底座与基片固定框连接处设置有绝缘层,所述基片固定框内横向设置有横撑,其内壁一侧安装有挡板,且基片固定框的横梁上安装有基片锁紧件,其底架上安装有基片支撑件;所述AZO镀膜线基片承载车通过增加绝缘层,达到基片固定框与工件架底座间电绝缘的目的,且通过采用基片支撑件和基片锁紧件固定基片,基片装卸方便,此外,基片固定框上横向设置的横撑可以根据基片尺寸大小调整位置,不仅结构简单,易于实现,且操作方便,安全可靠。 |
申请公布号 |
CN202323001U |
申请公布日期 |
2012.07.11 |
申请号 |
CN201120452307.7 |
申请日期 |
2011.11.15 |
申请人 |
承德新新机电设备制造有限公司 |
发明人 |
徐峰;孙树来;张彦清;王建军;张学星;牛星月;李占涛;李东岳 |
分类号 |
C23C14/50(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/50(2006.01)I |
代理机构 |
北京品源专利代理有限公司 11332 |
代理人 |
宋松 |
主权项 |
一种AZO镀膜线基片承载车,包括工件架底座和安装于工件架底座上的基片固定框,其特征在于:所述工件架底座与基片固定框连接处设置有绝缘层,所述基片固定框内横向设置有横撑,其内壁一侧安装有挡板,且基片固定框的横梁上安装有基片锁紧件,其底架上安装有基片支撑件。 |
地址 |
067400 河北省承德市双滦区双塔山元宝山大街24号 |