| 发明名称 | 抛光盘清洗装置 | ||
| 摘要 | 一种抛光盘清洗装置包括：顶板、顶板支座及底座，顶板固定于顶板支座上，顶板支座与底座转动连接。由于顶板支座可相对于底座旋转，因此抛光盘清洗装置可实现边旋转边清洗抛光盘的效果，所述抛光盘清洗装置具有清洗速度快，结构简单，使用方便的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN202290627U | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201120380451.4 | 申请日期 | 2011.10.09 |
| 申请人 | 深圳深爱半导体股份有限公司 | 发明人 | 裴新;王友旺 |
| 分类号 | B08B1/04(2006.01)I | 主分类号 | B08B1/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 吴平 |
| 主权项 | 一种抛光盘清洗装置，其特征在于，包括：顶板、顶板支座及底座，所述顶板固定于所述顶板支座上，所述顶板支座与所述底座转动连接。 | ||
| 地址 | 518118 广东省深圳市龙岗区宝龙工业城宝龙七路3号 | ||