XY工作台

摘要

本发明提供一种削减电力消耗能量并抑制CO2的发生以防止地球温室效应的XY工作台。应对环境型的XY工作台(10)具备矩形的底座(1)、与该底座(1)对置的工作台(3)、贯插于该底座(1)与工作台(3)之间的滑鞍(2)、以底座(1)为基准使滑鞍(2)向Y轴方向移动的Y轴驱动机构(4)、以及以滑鞍(2)为基准使工作台(3)向X方向移动的X轴驱动机构(5)，其特征在于，所述滑鞍(2)和所述工作台(3)中的任意一方或双方使用碳纤维强化塑料形成。

主权项

一种XY工作台，其特征在于，该XY工作台具备：矩形的底座；与所述底座对置的工作台；贯插于所述底座与所述工作台之间的滑鞍；以所述底座为基准使所述滑鞍向Y轴方向移动的Y轴驱动机构；以及以所述滑鞍为基准使所述工作台向X方向移动的X轴驱动机构，所述滑鞍和所述工作台中的任意一方或双方使用碳纤维强化塑料形成，在使用所述碳纤维强化塑料形成的所述工作台的下表面设有垫块，在所述工作台的上表面安装有多个带凸缘的轴衬，所述多个带凸缘的轴衬的凸缘部在所述工作台的上表面形成为凸形，所述多个带凸缘的轴衬的凸缘部的上表面以所述垫块的下表面为基准面，以期望的精度形成于同一平面。