自矽晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置（三）

摘要

一种自矽晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置(三)，包含一废油储槽、一初滤单元、一初滤储槽、一抑菌单元以及至少一精滤单元。该初滤单元用以滤除废油泥中的固形物，并取得其中的初滤液。该初滤储槽用以暂存经由该初滤单元所释出的初滤液。该抑菌单元具有一与该初滤储槽连接的输入端及一输出端，该抑菌单元系对该初滤储槽内部的初滤液进行杀菌之前处理作业。该精滤单元接设在该抑菌单元的输出端，以对经过抑菌处理的滤液再进行精滤作业。