Vorrichtung zur Materialbearbeitung eines Werkstücks und Verfahren zum Kalibrieren einer solchen Vorrichtung

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung (1) zur Materialbearbeitung eines Werkstücks (2), wobei die Vorrichtung (1) einen gepulsten Bearbeitungslaser (7), eine Fokussieroptik (11) und eine Strahlablenkseinheit (10) aufweist, sowie eine Steuereinheit (22) und eine vorzugsweise konfokale Detektoreinheit (18). Die Intensität der Laserstrahlung (8) ist variabel. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass eine Bildgebungseinheit (14) unter Verwendung elektromagnetischer Strahlung (15) zum Erfassen von Strukturen innerhalb des Werkstücks (2) vorgesehen ist, wobei die elektromagnetische Strahlung (15) der Bildgebungseinheit (14) über die Stahlablenkeinheit (10) und die Fokussieroptik (11) in das Werkstück (2) einstrahlbar ist, und dass eine Auswerteeinheit (24) vorgesehen und dazu eingerichtet ist, die mittels der Detektoreinheit (18) ermittelte Position des Fokus (12) der Laserstrahlung (8) zu vergleichen mit der erwarteten Lage des Fokus (12) in dem von der Bildgebungseinheit (14) gewonnenen Bild des Werkstücks (2). Die Erfindung bezieht sich auch auf ein Verfahren zum Kalibrieren einer Vorrichtung (1) zur Materialbearbeitung eines Werkstücks (2).