| 发明名称 | 清洁部件、带清洁功能的搬送部件、基板处理装置的清洁方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种在清洁部位不产生污染、并能够简便、可靠、充分地除去微细的异物、特别是亚微米级的异物的清洁部件。并且，本发明提供一种具有该清洁部件的带清洁功能的搬送部件、以及使用该带清洁功能的搬送部件的基板处理装置的清洁方法。本发明的清洁部件具有清洁层，所述清洁层在表面具有多个柱状结构的凸部，该柱状结构的凸部的长径比为5以上。 | ||
| 申请公布号 | CN101500718B | 申请公布日期 | 2012.06.27 |
| 申请号 | CN200780029948.8 | 申请日期 | 2007.06.28 |
| 申请人 | 日东电工株式会社 | 发明人 | 菅生悠树;寺田好夫;宇圆田大介;并河亮;吉田良德;前野洋平 |
| 分类号 | B08B1/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | B08B1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种清洁部件，其具有清洁层，所述清洁层在表面具有多个柱状结构的凸部，其特征在于，该柱状结构的凸部的长径比为5以上，所述柱状结构的凸部的突出部分的长度为100nm以上，所述清洁层表面的柱状结构的凸部的密度为1.0×108个/cm2以上，所述清洁层的比表面积为2.0以上。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||