发明名称 Alternated flow deposition of compound semiconductor layers by pulsed hibrid sputtering technique
摘要
申请公布号 GB201208438(D0) 申请公布日期 2012.06.27
申请号 GB20120008438 申请日期 2012.05.15
申请人 FERNANEZ, IVAN;NANO4ENERGY SLNE;BRIONES, FERNANDO 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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