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发明名称 СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МОП-СТРУКТУР
摘要
申请公布号 RU1575841(C) 申请公布日期 2012.06.20
申请号 SU19894633685 申请日期 1989.01.09
申请人 Физико-технический институт АН БССР 发明人 Домород А.А.;Крищенко А.П.;Петрашкевич В.Ф.;Плотников В.Н.;Румак Н.В.;Хатько В.В.;Ясников В.Е.
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
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