| 发明名称 | 均热板及应用该均热板的基片处理设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种均热板及应用该均热板的基片处理设备，其中，上述均热板包括中心子均热板和至少一个位于中心子均热板外围的外环子均热板，并且在中心子均热板与外环子均热板之间以及在相邻的两个外环子均热板之间均具有隔热部，借助该隔热部能够有效阻止或降低相邻的子均热板之间的热传导。本发明所提供的均热板及应用该均热板的基片处理设备能够有效补偿基片边缘区域的热损失，从而使基片各区域的升温速度保持一致。 | ||
| 申请公布号 | CN102485935A | 申请公布日期 | 2012.06.06 |
| 申请号 | CN201010585727.2 | 申请日期 | 2010.12.06 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 赵梦欣;刘旭;丁培军;王厚工;夏威;文莉辉 |
| 分类号 | C23C14/02(2006.01)I;C30B33/02(2006.01)I;H01L21/203(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 张天舒;陈源 |
| 主权项 | 一种均热板，其特征在于，包括中心子均热板和至少一个位于所述中心子均热板外围的外环子均热板，并且在所述中心子均热板与所述外环子均热板之间以及在相邻的两个外环子均热板之间均具有隔热部，该隔热部用以阻止或降低相邻的子均热板之间的热传导。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层 | ||