| 发明名称 | 一种基板搬送机械手设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开一种基板搬送机械手设备，涉及液晶面板制造领域，能够对基板进行全面检测，避免后续工艺不良。该基板搬送设备，包括设备本体，机械手臂以及位于机械手臂上部的吸附模块，还包括：检测装置，固定安装在所述手臂上；驱动装置，固定安装在所述手臂一侧；处理装置，通过有线或无线方式与所述检测装置连接。本实用新型用于基板搬送。 | ||
| 申请公布号 | CN202245325U | 申请公布日期 | 2012.05.30 |
| 申请号 | CN201120376597.1 | 申请日期 | 2011.09.28 |
| 申请人 | 北京京东方光电科技有限公司 | 发明人 | 曹宇;魏广伟;唐涛;李景泉 |
| 分类号 | B65G49/06(2006.01)I;B65G43/08(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | B65G49/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人 | 申健 |
| 主权项 | 一种基板搬送机械手设备，包括设备本体、手臂以及位于所述手臂上的吸附模块，其特征在于，所述设备还包括：检测装置，与驱动装置连接，面向所述手臂上的基板放置平面；驱动装置，与所述检测装置连接；处理装置，通过有线或无线方式与所述检测装置连接。 | ||
| 地址 | 100176 北京市北京市经济技术开发区西环中路8号 | ||