紧固件表面二氧化铪薄膜的制备方法及其产品

摘要

本发明公开了一种紧固件表面二氧化铪薄膜的制备方法，包括：将紧固件设置在反应腔体中，对反应腔体进行真空处理；将第一前驱体脉冲压入反应腔体中，第一前驱体在紧固件表面浸润吸附，去除多余的第一前驱体；将第二前驱体脉冲压入反应腔体中，第二前驱体与紧固件表面上的第一前驱体反应吸附，去除多余的第二前驱体及反应副产物；重复上述步骤，直至沉积所需厚度的二氧化铪薄膜；第一前驱体为含铪前驱体，第二前驱体为含氧前驱体；或第一前驱体为含氧前驱体，第二前驱体为含铪前驱体。还公开了一种新型紧固件。本方法操作简单，易于控制薄膜厚度；薄膜厚度均匀、包覆性好，与紧固件结合牢固；能够制备具有绝缘特性且表面颜色可调的紧固件产品。

主权项

一种紧固件表面二氧化铪薄膜的制备方法，其特征在于，包括：步骤S10：将紧固件设置在反应腔体中，对所述反应腔体进行真空处理；步骤S20：将一定量的第一前驱体脉冲压入所述反应腔体中，压入的第一前驱体在所述紧固件表面浸润吸附，抽气去除多余的所述第一前驱体；步骤S30：将一定量的第二前驱体脉冲压入所述反应腔体中，压入的第二前驱体与所述紧固件表面上的所述第一前驱体反应吸附，抽气去除多余的所述第二前驱体以及反应副产物；步骤S40：重复所述步骤S20和步骤S30，直至所述紧固件表面沉积所需厚度的二氧化铪薄膜；其中，所述第一前驱体为含铪前驱体，所述第二前驱体为含氧前驱体；或者，所述第一前驱体为含氧前驱体，所述第二前驱体为含铪前驱体。