| 发明名称 | MEMS悬臂梁式在线微波功率传感器及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种MEMS悬臂梁式在线微波功率传感器及其制备方法，所述微波功率传感器包括砷化镓衬底、主线CPW、副线CPW、MEMS悬臂梁式结构和终端微波功率监测系统；所述MEMS悬臂梁式结构包括悬臂梁和锚区，悬臂梁横跨在主线CPW信号线上方，悬臂梁的固定端固定在锚区上，锚区通过副线CPW信号线与终端微波功率监测系统相连接；所述悬臂梁结构下方设有驱动电极。本发明提供的MEMS悬臂梁式在线微波功率传感器，不但具有终端式微波功率传感器的优点，如低损耗和高灵敏度，而且具有在线微波功率测量、实现监测和不监测两种状态、多种耦合度的在线微波功率传感器的集成以及与砷化镓单片微波集成电路兼容的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN101915870B | 申请公布日期 | 2012.05.23 |
| 申请号 | CN201010223806.9 | 申请日期 | 2010.07.12 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 廖小平;张志强 |
| 分类号 | G01R21/02(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | G01R21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人 | 柏尚春 |
| 主权项 | 一种MEMS悬臂梁式在线微波功率传感器，其特征在于：所述微波功率传感器包括砷化镓衬底(1)、CPW、MEMS悬臂梁式结构和终端微波功率监测系统(6)；所述CPW包括主线CPW信号线(7)、副线CPW信号线(8)和CPW地线(9)，所述主线CPW信号线(7)和CPW地线(9)构成主线CPW，所述副线CPW信号线(8)和CPW地线(9)构成副线CPW；所述MEMS悬臂梁式结构包括悬臂梁(3)和锚区(12)，所述悬臂梁(3)横跨在主线CPW信号线(7)的上方，悬臂梁(3)的固定端固定在锚区(12)上，所述锚区(12)通过副线CPW信号线(8)与终端微波功率监测系统(6)相连接；所述悬臂梁式结构下方设有驱动电极(10)。 | ||
| 地址 | 210009 江苏省南京市江宁开发区东南大学路2号 | ||