一种低露点气体发生装置

摘要

本发明公开一种低露点气体发生装置，包括：气体发生器以及冷冻干燥机，所述气体发生器与一进气分离器连接，所述进气分离器与一第一储气罐连接，所述第一储气罐与一混合气压缩机连接，用于提升所述第一储气罐输出的气体的压力；所述混合气压缩机与一油水分离器连接，所述油水分离器与一第二储气罐连接，所述第二储气罐与所述冷冻干燥机连接，所述冷冻干燥机与一第三储气罐连接。本发明一种低露点气体发生装置，使得低露点气体发生装置的露点温度能够在所需范围以内，以满足特殊处理工艺要求。

主权项

一种低露点气体发生装置，包括：气体发生器以及冷冻干燥机，其特征在于，所述气体发生器与一进气分离器连接，所述进气分离器与一第一储气罐连接，所述第一储气罐与一混合气压缩机连接，用于提升所述第一储气罐输出的气体的压力；所述混合气压缩机与一油水分离器连接，所述油水分离器与一第二储气罐连接，所述第二储气罐与所述冷冻干燥机连接，所述冷冻干燥机与一第三储气罐连接。