用于测量二维运动部件位置的共面检测装置

摘要

本发明公开了一种用于测量二维运动部件位置的共面检测装置，包括基座和工作台，在基座和工作台之间设有悬浮驱动机构和共面检测机构，另有控制器分别与上述两机构相接。其中，共面检测机构采用导波杆和位置磁条副构成两个方向的测量单元，导波杆与磁条副之间有二维平面内的两个自由度，这不同于传统的位置传感器那样动静元件间只有一个自由度。采用本发明可实现二维平面内任意点位置检测，装置结构简单，相比于同等性能的检测装置，体积小，重量轻，由于不存在叠加机构的间隙影响，所以精度高，系统可靠性高，操作方便。

主权项

用于测量二维运动部件位置的共面检测装置，包括基座和工作台，在基座和工作台之间设有悬浮驱动机构和共面检测机构，另有控制器分别与上述两机构相接；其特征在于，共面检测机构包括同一平面正交布置的两导波管和同一平面正交布置的两对位置磁条副，其中，第一导波管与第一磁条副正交，第二导波管与第二磁条副正交；磁条副由两条形磁体在竖直面上平行放置构成，两磁体相对面极性相反；导波杆位于其正交的磁条副的两磁条之间，导波杆与磁条之间持有间距，两导波管均连接控制器。