用于检测用于电流的柔性连接中断的配置及其方法

摘要

提供了在具有可移动的下电极的等离子体处理室内的检测电路配置。该配置包括具有第一柔性连接器端、第二柔性连接器端和至少一个缝隙的柔性连接器。该缝隙的至少一部分被设置在与在两个柔性连接器端之间划的线平行的方向上。一个端耦合到可移动下电极，另一个端耦合到等离子体处理室的组件。柔性导体配置为在可移动的下电极和等离子体处理室的组件之间提供低阻抗的电流路径。该配置也包括用于检测通过设置在缝隙的一侧的连接器材料的电流的装置。用于检测的装置包括绕在导体材料周围的至少一个线圈和与线圈耦合的、用来检测撕裂导致的电流中断的检测电路。

主权项

在具有可移动的下电极的等离子体处理室中的一种检测电路配置，所述检测电路配置包括：柔性连接器，其具有第一柔性连接器端、第二柔性连接器端和至少一个缝隙，其中所述缝隙的至少一部分被设置在与在所述第一柔性连接器端和所述第二柔性连接器端间划的线平行的方向上，所述第一柔性连接器端耦合到所述可移动的下电极，所述第二柔性连接器端耦合到所述等离子体处理室的组件上，其中所述柔性导体配置为在所述可移动的下电极和所述等离子体处理室的所述组件之间提供低阻抗的电流路径；和用于检测的装置，其检测通过设置在所述缝隙的一侧的连接器材料的电流，所述用于检测的装置包括绕在设置在所述缝隙的所述一侧的至少是所述导体材料周围的至少一个线圈和与所述线圈耦合的、用来检测所述电流的检测电路。