在多个工作站之间的传送腔室

摘要

桥接腔室形成在相邻衬底处理工作站系统之间，并通过在相邻衬底处理工作站系统中形成的端口连接。使用传输机构将衬底移动到桥接腔室中或者移出桥接腔室以旁路掉初级传输系统。

主权项

一种半导体制造设备，具有借助于初级衬底处理系统连接的至少第一工作站系统和第二工作站系统，改进包括：第一工作站系统和第二工作站系统通过包括和至少第一和第二工作站系统通信的桥接腔室的第二级传输系统进行连接，被构造成允许至少一个衬底从那里通过，其中桥接腔室连接到初级衬底处理系统，并形成到初级衬底处理系统的旁路，所述旁路被配置成当第一工作站和第二工作站之间的至少一个衬底的传输被初级衬底处理系统的带宽阻碍时使得至少一个衬底传输通过第一工作站和第二工作站之间的桥接腔室。