| 发明名称 | 一种干法刻蚀无机材料基板等离子体刻蚀机的传片系统 | ||
| 摘要 | 一种干法刻蚀无机材料基板等离子体刻蚀机的传片系统，其安装在预真空腔内，包括运送片盘的机械手，所述机械手固定连接在带动其运动的丝杆螺母上，所述丝杆螺母安装在丝杆上，所述丝杆通过齿轮副与伺服电机连接，所述齿轮副包括与伺服电机转子连接的主齿轮、与丝杆转子连接的副齿轮，所述主齿轮与副齿轮啮合连接。本发明的有益效果：传片效率高、可靠性好，且结构简单合理。 | ||
| 申请公布号 | CN102368474A | 申请公布日期 | 2012.03.07 |
| 申请号 | CN201110279589.X | 申请日期 | 2011.09.20 |
| 申请人 | 嘉兴科民电子设备技术有限公司 | 发明人 | 李超波;黄成强;陈波;饶志鹏 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I;B25J9/08(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人 | 赵芳;徐关寿 |
| 主权项 | 一种干法刻蚀无机材料基板等离子体刻蚀机的传片系统，其安装在预真空腔内，包括运送片盘的机械手，其特征在于：所述机械手固定连接在带动其运动的丝杆螺母上，所述丝杆螺母安装在丝杆上，所述丝杆通过齿轮副与伺服电机连接，所述齿轮副包括与伺服电机转子连接的主齿轮、与丝杆转子连接的副齿轮，所述主齿轮与副齿轮啮合连接。 | ||
| 地址 | 314006 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号JRC大楼A213 | ||