硫化处理应变式砷化铝铟／砷化镓铟异质接面场效应电晶体（ＭＨＥＭＴ）之方法

摘要

本发明系一种硫化处理应变式砷化铝铟/砷化镓铟异质接面场效应电晶体(MHEMT)之方法，其系利用硫化处理应用在应变式砷化铝铟/砷化镓铟异质接面场效应电晶体(MHEMT)元件，做闸极的钝化处理，使启始电压提升，表面漏电流减少，表面状态密度也增强，使其能运用在高电流密度和高输入功率范围。